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显微角分辨光谱测量结构简单,易于装调
点击次数:644 发布时间:2019/1/8 16:05:39

    显微角分辨光谱测量具有结构简单,易于装调,使用方便的特点,避免了多通道测量带来的视角因子差别问题,能够实现多能段的图像测量,并能获得空间分辨优于3μm的二维图像。
    显微角分辨光谱测量利用傅立叶变换器件,至少包括一个带有照明系统的显微镜(1)、一根光纤(2),一个精密平移针孔(3)和一个光谱仪(4),其特征在于:显微角分辨光谱测量由下述部件实现:将所述的显微镜的物镜(10)当作一种傅里叶变换器件,将样品(9)表面发出的不同角度的光成像到物镜后端的第一焦平面(11)的不同位置处,形成光角度和焦平面上空间位置的对应关系,通过消色差的成像透镜组(13)将第一焦平面(11)成像至远离物镜的第二焦平面(14)处,在第二焦平面(14)上加载一个精密平移针孔(3),光谱仪(4)通过光纤(2)连接至针孔处,通过移动针孔的位置,获得不同角度的光谱信息;显微光谱测量通过以下部件实现:采用共焦照明系统(5)对样品(9)进行照明以获得显微光谱;或者,在与通过物镜(10)、成像透镜组(13)成像形成的光学共轭面为显微镜的物镜图像平面二(16)上利用图像针孔(17)进行空间滤波以获得显微光谱;或者,采用共焦照明系统(5)和在图像平面二(16)上利用图像针孔进行空间滤波获得显微光谱。